《Journal Of Vacuum Science And Technology B:nanotechnology And Microelectronics》由AVS Science and Technology Society出版社出版，是工程：电子与电气领域的国际权威期刊。该刊始终致力于发表工程技术领域的原创性、前瞻性研究成果，尤其关注工程技术领域的理论、政策与实践。该刊被SCIE数据库收录，中国科学院期刊分区为大类工程技术4区，小类工程：电子与电气4区。此外，在CiteScore学科分类中，该刊在“Electrical and Electronic Engineering”小类中位列Q3区，排名448 / 797，显示出在工程：电子与电气领域的突出影响力。

作为一本非开放获取期刊，《Journal Of Vacuum Science And Technology B:nanotechnology And Microelectronics》研究类论文占比为0.00%。CiteScore为2.7，学术影响力持续稳健。该刊面向全球研究者，为探讨工程：电子与电气领域提供了高水平的学术交流平台。